Introduktion av vakuumavdunstningsbeläggningsteknik

Vakuumindunstningsbeläggningstekniken för tillverkare av vakuumbeläggningsmaskiner inkluderar motståndsindunstningsbeläggning, elektronstråleindunstningsbeläggning, laserstråleindunstningsbeläggning, högfrekvent induktionsuppvärmningsbeläggning etc. Följande tabell visar egenskaperna hos flera förångningsbeläggningstekniker.

1. Avdunstning av motståndsavdunstning: Motståndsindunstningskällan används för att avdunsta material med låg smältpunkt, såsom guld, silver, zinksulfid, magnesiumfluorid, kromtrioxid etc. Motståndsavdunstningskällor är i allmänhet gjorda av volfram, molybden och tantal.

2. Elektronstråleindunstningsplätering: Efter att filmmaterialet förångats och indunstats genom elektronstråleuppvärmning är det en viktig uppvärmningsmetod i vakuumindunstningsteknik att kondensera och bilda en film på ytan av substratet. Det finns många typer av sådana enheter. Med den breda tillämpningen av tunnfilmsteknik är inte bara kraven på typerna av membran olika, men också kraven på membranens kvalitet är strängare. Motståndsavdunstning kan inte längre tillgodose behoven av avdunstning av vissa metaller och icke-metaller. Elektronstrålens värmekälla kan få en mycket större energitäthet än motståndsvärmekällan, och värdet kan nå 104-109w / cm2, så filmen kan värmas upp till 3000-6000c. Detta ger en bättre värmekälla för avdunstning av eldfasta metaller och icke-metalliska material som volfram, molybden, germanium, SiO2, AI2O3, etc. Dessutom, eftersom materialet som ska avdunstas placeras i en vattenkyld degel, kan avdunstningen av behållarmaterialet och reaktionen mellan behållarmaterialet och filmmaterialet undvikas, vilket är extremt viktigt för att förbättra filmens renhet. Dessutom kan värme direkt tillsättas till filmmaterialets yta, så värmeeffektiviteten är hög och värmeledningen och värmestrålningsförlusterna är små.

3. Högfrekvent induktionsuppvärmningsavdunstningsplätering: Metallen upphettas till avdunstningstemperaturen med principen om induktionsuppvärmning. Placera degeln som innehåller filmmaterialet i mitten av spiralspolen (beröringsfri) och passera en högfrekvent ström genom spolen, vilket kan få metallfilmmaterialet att generera ström för att värma sig upp tills det avdunstar.

Egenskaperna hos induktionsuppvärmningskällan: 1) Avdunstningshastigheten är stor 2) Förångningskällans temperatur är enhetlig och stabil och det är inte lätt att producera aluminiumdroppstänkfenomen 3) Avdunstningskällan laddas samtidigt, ingen trådmatningsmekanism krävs, temperaturkontrollen är relativt enkel, och operationen är enkel 4) För filmen Materialrenhetskraven är något bredare.

4. Avdunstning av båguppvärmning: En uppvärmningsmetod som liknar elektronstråleuppvärmningsmetoden är bågurladdningsuppvärmningsmetoden. Det har också egenskaperna att undvika förorening av motståndsuppvärmningsmaterial eller degelmaterial, och uppvärmningstemperaturen är hög, särskilt lämplig för avdunstning av eldfasta metaller, grafit etc. med hög smältpunkt och viss ledningsförmåga. Samtidigt är utrustningen som används i denna metod enklare än den för elektronstråleuppvärmningsanordningen, så det är en relativt billig avdunstningsanordning.

5. Laserstråleindunstningsplätering: Metoden att använda pulserad laser med hög effekttäthet för att avdunsta materialet för att bilda en tunn film kallas i allmänhet laseravdunstning