Vakuumbeläggning Maskin Vakuumbeläggning Maskin Tillverkare Vakuumbeläggningsutrustning Processrengöring

Vakuummaterialet bör rengöras före vakuumbeläggningsmaskinens vakuumprocess för att avlägsna föroreningar från arbetsstyckets eller systemmaterialets yta. ytrengöringen av lampbeläggningsmaskinens delar är också nödvändig, eftersom gas- och ångkällorna som orsakas av föroreningar inte bara Det kommer att göra vakuumsystemet oförmöget att erhålla den önskade vakuumgraden. På grund av närvaron av föroreningar kommer det dessutom att påverka vakuumkomponentanslutningens styrka och tätningsprestanda.

Vakuumbeläggningsmaskinföroreningar kan definieras som "någon form av värdelös substans eller energi", flerbågsjonbeläggningsmaskin kan delas in i fast, gas och vätska beroende på föroreningarnas fysiska tillstånd, de finns i form av film eller granulär. När det gäller dess kemiska egenskaper kan den vara i joniskt eller kovalent tillstånd och kan vara oorganisk eller organisk.

Ytan på vakuumbeläggaren som utsätts för luften är mest mottaglig för förorening. Det finns många föroreningskällor. Den initiala föroreningen är vanligtvis en del av bildningsprocessen för själva ytan. Adsorptionsfenomen, kemiska reaktioner, urlaknings- och torkningsprocesser, mekaniska behandlingar och diffusions- och segregeringsprocesser bidrar alla till ökad ytkontaminering av olika komponenter. De vanligaste typerna av föroreningar på ytan av vakuummaterial är följande.

(1) Fett: smörjmedel, skärvätskor, vakuumfetter etc. som är förorenade under bearbetning, montering och drift;

(2) Vattenbaserad: handsvett under drift, vattenånga under blåsning, saliv etc.;

(3) Ytoxid: den ytoxid som bildas av att materialet placeras i luften eller placeras i fuktig luft under lång tid.

(4) Syra-, alkali- och saltämnen: restämnen under rengöring, handsvett, mineraler i vatten etc.

(5) Polering av restprodukter och stoft och annat organiskt material i luften.

Enligt kraven kan vakuumbeläggningsmaskinens rengjorda yta delas in i två kategorier: ren yta på atomnivå och processteknik ren yta.

Rengöringsarbetet på plats i det tidiga skedet av vakuumbeläggningsmaskinen kan minska mycket problem, undvika att det uppstår många små problem i sputtringskontrollens sputtringsbeläggningsmaskin och ha en mycket positiv effekt på vakuumbeläggningsmaskinens arbetseffektivitet och beläggningskvalitet. Det kan avsevärt förbättra arbetsstabiliteten hos alla kärlväggar och andra komponentytor i vakuumsystemet under olika arbetsförhållanden. Dessa driftsförhållanden inkluderar: hög temperatur, låg temperatur och utsläpp och bombardemang av elektroner, joner, fotoner eller tunga partiklar.