PVD guldpläteringsmaskin

Den magnetronreaktiva förstoftningen av isolatorer verkar lätt, men den faktiska driften är svår. Huvudproblemet är att reaktionen inte bara sker på ytan av delen, utan också på anoden, ytan av vakuumkammaren och ytan av målkällan. Därigenom orsakar brandsläckning, målkälla och arbetsstyckets yta ljusbågar och så vidare. Twin target source-teknologin som uppfanns av Leybold i Tyskland löser detta problem mycket väl. Principen är att ett par målkällor är varandras katod och anod, vilket eliminerar oxidationen eller nitreringen av anodytan.

Kylning är nödvändig för alla källor (magnetron, multibåge, joner), eftersom en stor del av energin omvandlas till värme. Om det inte finns någon kylning eller otillräcklig kylning kommer denna värme att göra att målkällans temperatur når mer än 1,000 grader och smälter hela målkällan. .

En magnetronutrustning är ofta väldigt dyr, men det är lätt att lägga pengar på annan utrustning som vakuumpump, MFC, filmtjockleksmätning och strunta i målkällan. Oavsett hur bra magnetronsputtringsutrustningen är utan en bra målkälla är det som att rita en drake utan pricken över i:et.

Fördelen med att använda mellanfrekvensförstoftning är att den kan vara jämn och tät. Hårdheten på filmskiktet är hög. Filmtjockleken kan växa linjärt. Ingen förgiftning. Vakuumugnens flerbågsförstoftning applicerar en liten spänning och en stor ström till målet för att jonisera materialet (positivt laddade partiklar), och träffar därigenom substratet (negativt laddat) med hög hastighet och avlagring, vilket bildar en tät film och en hård film . Används främst för slitage- och korrosionsbeständiga filmer. Nackdelen är att de positiva och negativa elektriska stötarna orsakar ojämn film, hål och ablation.

Principen för mellanfrekvensförstoftning är densamma som för allmän DC-förstoftning. Skillnaden är att DC-förstoftning använder cylindern som en anod, medan mellanfrekvensförstoftning är parad. Huruvida cylindern deltar måste bero på den övergripande designen och hela systemet I sputteringsprocessen är arrangemanget av anod och katod relaterat, och det finns många sätt att delta i förhållandecykeln. Olika metoder kan erhålla olika sputtringsutbyten och olika jondensiteter. Den huvudsakliga tekniken för mellanfrekvensförstoftning ligger i designen och tillämpningen av strömförsörjningen. För närvarande är de två metoderna för att mata ut sinusvåg och pulsfyrkantvåg mer mogna. Var och en har sina egna fördelar och nackdelar. Först bör vi överväga typen av film och analysera vilken effektmetod som är lämplig för vilken film. Du kan använda egenskaperna hos strömförsörjningen för att få önskad effekt. filmeffekt.

Ansökan

Parameter

Vårt företag

Populära Taggar: pvd guldpläteringsmaskin, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, anpassad, köp, pris, offert