Spin Coating Machine

Mellanfrekvensförstoftning är också en sorts magnetronförstoftning.

Det finns många typer av magnetronförstoftning, som kan delas in i DC-magnetronförstoftning, radiofrekvensmagnetronförstoftning och mellanfrekvensmagnetronförstoftning beroende på vilken strömkälla som används. Strömförsörjningen som används vid DC-magnetronförstoftning är en DC-högspänningsförsörjning, vanligtvis 300-1000 V, som kännetecknas av snabb sputterhastighet, låg kostnad och billigt underhåll under den senare perioden. Det är dock bara metallmål som kan sputteras. Om målet är en isolator, kommer målet att ackumulera en stor mängd laddning när sputtringen fortskrider, vilket resulterar i oförmågan att sputtra att fortsätta. Därför används likströmsmagnetronförstoftning vanligtvis för metallmål. På grund av sin låga kostnad och enkla struktur används den i stor utsträckning inom industrin. Frekvensen för RF-strömförsörjningen som används vid RF-magnetronförstoftning är vanligtvis 13,56 MHz, vilket kan lösa problemet att DC-magnetronförstoftning inte kan sputtera isolerande mål. Egenskaperna för RF-magnetronförstoftning är: både isolerande mål och metallmål kan sputteras, och vidhäftningen mellan filmen och substratet är stark. Men på grund av den komplexa strukturen och enheten, det höga priset på RF-strömförsörjningen, de höga underhållskostnaderna, strålningen till människokroppen och behovet av ett externt matchande nätverk, är det inte lämpligt för industriell produktion. Mellanfrekvensmagnetronförstoftning används ofta för reaktiv förstoftning för att förbereda filmer av sammansatta metaller. Förutom argon tillsätts en liten mängd reaktiva gaser såsom kväve, syre, etc. till kaviteten för att avsätta molekylerna av dessa reaktiva gaser med atomerna i målmaterialet. på substratet för att bilda en metallblandningsfilm. Eftersom DC-magnetronförstoftning används i stor utsträckning inom industrin, inkluderar magnetronförstoftningsbordet ett vakuumsystem, ett sputtering-beläggningssystem, en gas och ett kontrollsystem.

Ansökan

Parameter

Vårt företag

Populära Taggar: spinnbeläggningsmaskin, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, anpassad, köp, pris, offert