PVD-beläggningsmaskin i rostfritt stål

PVD-beläggningsutrustning är en anordning som smälter och förångar metallaluminium vid hög temperatur under högt vakuum, så att ångan av aluminium avsätts på ytan av plastfilmen, så att ytan på plastfilmen har en metallisk lyster. Som en teknik för att producera en specifik film har vakuumbeläggningsteknik ett brett spektrum av tillämpningar i verklig produktion och i livet.

I magnetronförstoftningsbeläggningsprocessen är problemen med filmtjocklekens enhetlighet, filmbildningskvalitet och förstoftningshastighet mycket bekymrade i praktisk produktion. Faktorerna som påverkar stabiliteten hos dessa processer inkluderar främst sputterkraft, gastryck och argonrenhet, avstånd mellan mål och substrat, styrka och fördelning av magnetfält, temperatur och substratets renhet, etc. Att känna till och bemästra dessa faktorer kan hjälpa till att snabbt hitta orsak och lösning till felet.

1. Inverkan av sputterkraft

Ökningen av förstoftningskraften kommer att förbättra likformigheten hos filmtjockleken och förstoftningshastigheten. Med ökningen av förstoftningskraften ökar plasmaytan, så att likformigheten hos filmskiktet förbättras. Ökningen av effekt kan förbättra joniseringsgraden av argongas och öka antalet sputtrade målatomer, och därigenom öka sputtringshastigheten. Dessa målatomer avsätts på substratet med hög energi, så vidhäftningen mellan målatomerna och substratet och filmens densitet kan förbättras. Sålunda förbättras den filmbildande kvaliteten hos den tunna filmen. För hög effekt kommer dock att få atomer att bombardera substratet med för hög energi, och de sekundära elektronerna kommer också att öka i enlighet med detta, vilket kommer att göra att substrattemperaturen blir för hög och kommer att minska filmkvaliteten och sputterhastigheten för filmen.

2, effekten av målet basavstånd

När mål-till-bas-avståndet är litet är filmkvaliteten hög och förstoftningshastigheten hög, men likformigheten hos filmskiktet är dålig. När mål-till-bas-avståndet ökas kommer filmkvaliteten och förstoftningshastigheten att minska, och filmens enhetlighet kommer att förbättras. Därför är ett lämpligt mål-till-basavstånd en viktig faktor för att säkerställa processstabilitet. Eftersom utrustningen har ställts in med ett lämpligt målbasavstånd på fabriken kommer det inte att diskuteras här.

Ansökan

Parameter

Vårt företag

Populära Taggar: rostfritt stål pvd beläggningsmaskin, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, anpassad, köp, pris, offert