Vakuummetalliseringsutrustning

Är PVD-beläggningar säkra?

Fysiska ångavsättningsprocesser är en miljövänlig eller "plätering"-teknik som avsevärt minskar mängden giftiga ämnen som måste användas, hantera och kasseras jämfört med andra "våta" processer som involverar flytande prekursorer och kemiska reaktioner som används för att uppnå samma resultat . Eftersom den kan producera extremt rena, rena och hållbara beläggningar, är Physical Vapor Deposition den teknik som används för den kirurgiska och medicinska implantatindustrin.

Vet du vad en beläggningsmaskin är? Det hänvisar främst till en typ av beläggning som måste utföras under en hög grad av vakuum, inklusive många typer, inklusive vakuumjonförångning, magnetronförstoftning, MBE molekylär strålepitaxi, PLD-laserförstoftningsavsättning och många andra.

Vakuumsystemet inkluderar en mekanisk pump, en kryogen pump, en grovbearbetningsventil, en framlinjeventil, en slussventil och en vakuummätare för vakuumdetektering. Under magnetronförstoftning bör inverkan av kväve, syre och vattenånga på processen minimeras, så vakuumgraden måste vara under 0.13 mPa ~ 4 Pa. Nu används i allmänhet torr pump och kryogen pump. Torrpumpen används för att pumpa lågvakuum. Jämfört med den ursprungliga mekaniska oljepumpen kan den förhindra att oljan och gasen i oljepumpen kommer in i vakuumkammaren, förorenar substratet och minskar vidhäftningen mellan filmen och substratet. Vanligtvis, efter att torrpumpen har pumpats under 6,5 Pa, öppnas slussventilen och den kryogena pumpen används för att pumpa högvakuum. Den kryogena pumpen kännetecknas av hög pumphastighet, speciellt förmågan att avlägsna vattenånga är mycket stark.

Sputtringsbeläggningssystemet består av DC-strömförsörjning, målmaterial, kylvatten, permanentmagnet, substratvärmeanordning, baffel, skärmskikt, etc. Detta är kärndelen av magnetronförstoftningsstationen. Likströmskällan ger en negativ högspänning på 300-1 000 V och applicerar den på målet, så att målet är vid katoden och substratet är vid anoden. Kylvatten används för att kyla målmaterialet för att förhindra att måltemperaturen stiger för snabbt på grund av sputtering. Kylvattenledningen bör vara gjord av isoleringsmaterial som plaströr, inte metallrör. Substratuppvärmningsanordningen kan avlägsna föroreningar såsom vattenånga på substratet, vilket kan förbättra vidhäftningen mellan filmen och substratet. Dessutom, för vissa metaller, kan en lämplig temperatur förbättra filmens kvalitet.

Ansökan

Parameter

Vårt företag

Populära Taggar: vakuummetalliseringsutrustning, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, anpassad, köp, pris, offert